二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967 待售
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ID: 293819967
Etcher
Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是专门为微电子工业量身定制的高级蚀刻器和asher。AMAT Enabler E2的反演平衡工艺室和双扇区蚀刻几何形状提供了业界领先的精度。这允许更高的吞吐量与可调蚀刻均匀性跨材料和掩模集大小,使高保真微电子处理。APPLIED MATERIALS Enabler E2具有强大的垂直蚀刻几何形状和带有可选温度控制功能的高功率工艺室。这样可以对包括SiO2和SiNx在内的多种材料进行极其精确的蚀刻。Enabler E2的灵活性可实现加工材料的高保真阵列。它可以用来绘制从超热晶片到厚绝缘体硅(SOI)基板的各种材料和基板厚度的图样。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2的自动化多区域处理功能允许精确、可重复的一组过程产生一致的结果,同时消除来自其他过程流的潜在污染。它还具有用于高速蚀刻和沉积的双源等离子体源,允许在蚀刻和沉积步骤之间进行更有效的切换。AMAT Enabler E2是一个生产微电子的多功能系统,具有降低单个过程所需的多种工具的复杂性的潜力。此外,其用户友好的控制软件使其成为一种用途广泛且可靠的工具,可用于各种过程情况。APPLIED MATERIALS Enabler E2凭借其精准的操控、用户友好的软件、多合一的便利,是微电子行业的完美工具。
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