二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9231969 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是一款功能齐全的asher/etcher,旨在满足各种工艺工程需求。E2是按照精确的质量标准制造的高性能、精密的设备,可确保可靠的过程控制和准确的可重复性。它具有高分辨率板载光谱仪，允许实时监测蚀刻过程。E2使用双频射频偏置和中频（MF）电流的组合,在极宽电阻率范围内提供均匀蚀刻的结果。蚀刻系统使用切碎的微波能源，通过调制功率进行多深度或3D蚀刻，确保整个沟槽内均匀的蚀刻深度和轮廓。此外,E2还具有可单独控制的EDGE蚀刻器,具有可编程的可编程几何形状,从而提高了配方的灵活性。其他功能包括完全集成的氦气和气流控制，以及一个车载集成的等离子体调节模块，可自动监测等离子体条件，以确保精确的蚀刻结果。为了最大限度地控制过程,E2提供了一种单腔室设计,可消除运行之间的污染并缩短周期时间。E2的集成安全系统包括集成数字射频发生器以及安全互锁单元和隔离接地装置。E2还配备了可实现最大均匀性的整体冷却机,包括独立的工艺控制器、晶圆温度管理系统和CDA环路,以实现更快的刀具可用性。为了更好的过程控制，E2使用板载光谱仪提供实时等离子体监测。通过将最新的工艺控制功能与精密加工零件相结合,AMAT Enabler E2为寻求可靠、可重复的工具以满足各种蚀刻需求的工艺工程师提供了一个出色的平台。除了先进的功能外,APPLICED MATERIALS Enabler E2的使用寿命长、基本周期时间快、拥有成本低,提供了非凡的价值。
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