二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9236843 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Enabler E2是为先进的半导体製造业而设计的蚀刻器和asher设备。它是专门为蚀刻和灰化提供最佳的性能成本性能而设计的。AMAT Enabler E2采用超短脉冲激光技术,结合先进的软件控制,可实现快速、精确和可重复的结果。对于蚀刻操作,APPLIED MATERIALS Enabler E2使用短脉冲激光器去除厚度高达0.7微米且通量高的材料。激光束能够精确地绘制特征图样，而不会造成与其他蚀刻技术相关的表面损坏。据报道该系统提供了出色的工艺均匀性和高一致性，这要归功于激光光束以大约10 µm的光斑大小传送到目标。对于灰化操作，Enabler E2利用脉冲激光加氧气从底物中去除聚合物残留物。该工艺的高通量是由激光的近光束光斑大小实现的，允许均匀且可重复的结果，厚度可达0.7 µm。其结果是清洁且无碎屑的蚀刻图桉，允许精确的下游作业。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2的控制单元也在设计时考虑了易用性。用户友好界面采用图形交互式地图和参数化配方设计，以减少配方开发时间。AMAT Enabler E2设计为易于学习、易于使用和高度可靠的机器,非常适合半导体和AUV生产等研究和生产环境。