二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9241234 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是为半导体、MEMS和光电子制造的先进工艺而设计的功能强大的等离子体蚀刻器/asher设备。它被用于多种过程，包括光刻胶图样、发光二极管（LED）蚀刻和灰化、三维（3D）感测、光学表面、选择性区域沉积、互连过程和介电蚀刻。该系统由多个腔室组成，每个腔室都有自己的工艺配方、气流管理单元、射频电源、真空泵。AMAT Enabler E2是AMAT最新的蚀刻和灰化机。它是一种非常可靠的工具,能够以最小的停机时间产生高质量的结果。它的主要优点是能够提供复杂过程几何所需的高吞吐量和精确控制。该资产还提供了出色的蚀刻配置文件一致性,从而实现了一致的高质量产品。APPLIED MATERIALS Enabler E2配备了全新设计的工艺气体输送模型。气体输送设备的设计提供了高度的灵活性和准确性。它能够绝对精确地向腔室输送工艺气体，确保对正在进行的每一类工作遵循正确的工艺配方。气体输送系统能够同时处理多种气体，从而允许同时追求多种工艺配方。该装置的射频电源经过精心设计，可提供高精度、高重复性强的鲁棒性控制。电源允许用户设置多个流程配方,并确保流程参数完全符合要求。电源还有一个集成的监控机器，允许用户检查流程参数并根据需要进行调整。Enabler E2还配备了真空泵。泵可使真空电平快速倾斜到选定的设定点。该工具还具有紧急清理功能，旨在防止蚀刻过程中使用的化学品造成内部污染。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Enabler E2是APPLIED MATERIALS的强大蚀刻和灰化资产,能够以精确和可重复性处理各种过程。该模型可以高效地提供卓越的结果。