二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9262172 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是一种蚀刻器/asher,旨在提供一致且可重复的蚀刻或灰化过程。它是用于湿法或干法化学加工的可靠工具,专门为满足大多数制造需求而设计。由于它能够处理各种工艺气体、温度、压力和晶圆尺寸,因此它是专业工艺的完美工具。Asher有湿度和温度控制设备,可以让用户精确设定温度和湿度,为他们的过程创造完美的条件。该室还配备了自动气体控制系统,能够精确控制各种工艺气体和掺杂水平,以确保重复、一致的蚀刻和灰化过程。它还有一个多区温度控制单元,帮助始终保持晶片周围的均匀温度。AMAT Enabler E2还具有全自动气体分配机,可在所有晶圆上提供高效的气体分配和均匀的晶圆加热。它还具有先进的安全工具,旨在防止发生任何危险情况,如过压、过热和过温。腔室装有先进的扫描电子显微镜(SEM)。这样可以在处理过程中对晶片进行精确和高分辨率的成像,从而降低缺陷密度并提高产量。此外,它还配备了具有直观用户界面的高级视图端口监视和数据监视资产。这样可以在过程和之后方便地监视晶片,以及优化过程参数。最后,APPLIED MATERIALS Enabler E2 asher配备了OpenFab软件。这是一个功能强大的软件程序,专门为优化asher性能和控制整个ashering过程而设计。它允许用户快速访问所有流程值,快速设置和维护最佳配方,并轻松监控流程条件和性能。它还允许用户轻松访问和归档所有晶圆数据和过程条件。总体而言,Enabler E2 asher是一个功能强大的工具,如果使用得当,它可以帮助一致且可重复地实现针对所有类型晶片和需求的蚀刻和灰化过程。它是一种可靠而强大的机器,依靠先进的技术来确保最佳的工艺精度和结果。
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