二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM是一种先进的蚀刻/灰分技术，用于制造集成电路元件。它配备了AMAT公司最新的模具和自动化技术，允许高精度蚀刻和灰化。AMAT G5 MESA EFEM设备设计用于加工直径达200 mm、长度达300 mm的晶片。它具有超高吞吐量,直通式速率高达1000 pcs/小时。它还具有独特的双腔室技术，在蚀刻和灰化方面提供了更高的控制和精度，从而实现了亚工艺精度。智能控制系统，为不同的晶圆尺寸提供可配置的配方，优化产量和最小化缺陷。此外，APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM系统提供卓越的工艺均匀性和生产率，具有广泛的湿法化学蚀刻溶液，包括盐酸、硫酸、磷酸和其他酸。其湿钝化特性控制氧化，并允许改善微小蚀刻结构或微观特征的结构/表面质量。其低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）能力也有助于提高晶片的表面光洁度，使其更耐用。G5 MESA EFEM单元包含精密的自动化解决方桉,允许在制造过程中进行精确的过程控制。它包括自动晶片定心和加载、过程监控和配方管理,以使复杂的蚀刻和灰化操作高效。它的安全特点保证人员和设备的安全，其自动气体感应系统旨在检测某些有毒气体的危险水平，如氨和氯化氢。为了确保可靠的工艺质量，AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM利用工业级传感器和光学器件进行精确的晶圆扫描，并进行实时表面监测和报告，以便进行动态工艺控制。它还包括一个用于自动操作的六轴机器人，设计有安全功能，以保护人员免受伤害。此外，AMAT G5 MESA EFEM与其他加工设备集成在先进的过程监控机中，以实现更大的控制和质量。它灵活的集成允许简化生产并提高整体工具效率。这种先进的蚀刻和灰化资产是当今领先生产线的理想选择。