二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293616964 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK是一款高性能的蚀刻器/asher，专为先进的半导体加工而设计。它能够在多晶硅、SiO2、SiN、聚酰亚胺等多种材料中对单层或多层薄膜进行干燥蚀刻和灰化。该机采用先进的模块化设计，能够与各种工艺化学和蚀刻配方兼容。该机的腔室尺寸为205毫米x 215毫米x 305毫米，可处理直径达200毫米的晶片。AMAT G5 MESA HPK配备了定频射频发电机和歧管气体设备，以实现最佳蚀刻性能。它还具有先进的气流管理系统，使操作员能够精确控制气压和气流。此单元无需手动调整,从而减少了操作错误。此外，该机器与许多不同的化学物质兼容，使其适合各种应用。APPLICED MATERIALS G5 MESA HPK具有高压钼蚀刻室，在整个晶片中提供快速蚀刻速率和均匀蚀刻。它还配备了高容量的泵和控制装置，可以更好地控制机器内的工艺参数和均匀的蚀刻。这确保了蚀刻和灰化工艺的高质量性能。G5 MESA HPK还配备了先进的诊断和维护工具。这有助于操作员通过收集可以进行分析和应用以改进过程的数据来了解机器的蚀刻性能。它还具有自动诊断工具,可以检测蚀刻或灰化过程中可能出现的任何硬件或软件问题。这有助于防止停机和不必要的停机。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK是一种高度模块化、可配置和可升级的蚀刻器/asher,可提供准确、高性能、可靠的蚀刻和研磨工艺。它的高级诊断和维护功能确保蚀刻性能最大化和停机时间最小化。最后，它与不同化学的相容性也使得它适合在多种应用中使用。