二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9270848 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一种为晶片的精密蚀刻或灰分处理而设计的asher/etcher设备。该系统采用高功率、高频等离子体蚀刻和灰分工艺，快速准确地蚀刻大批量或小批量晶片。此过程的深度精度为+/-1 um,可达到+/-2 um的表面平面精度。AMAT G5专门设计用于集成电路封装、晶圆变薄、介电蚀刻、聚酰亚胺蚀刻、显示器生产等应用。APPLICED MATERIALS G5单元具有计算机控制的单室设计和封闭式气柜。这种设计保证了等离子体被精确地包含，并且得到的灰分得到满足。该机还采用智能操作参数设计，可实现更准确、更可重复的结果。此外，G5还设计了可移动腔室墙，能够容纳300毫米大小的基板。AMAT/APPLIED MATERIALS G5提供湿灰和干灰处理能力，有助于进一步降低颗粒污染风险。该工具配备了飞行时间质谱仪，用于对粒子进行连续的过程中监测，并由AMAT先进蚀刻控制软件提供动力。此软件包括一个自动调整周期,用于调整流程参数以自动保持尽可能高的性能。该软件还与APPLIED MATERIALS Production Viewer软件兼容,该软件允许用户从远程位置监视进程。AMAT G5是一种先进的asher/etcher资产，设计用于晶圆的高精度蚀刻和灰分处理。它的设计确保了对等离子体蚀刻和灰分过程的控制，同时允许可重复的结果。该型号还具有可移动腔壁，并配备了干湿灰处理能力。最后，它采用飞行时间质谱仪和先进的蚀刻控制软件，使用户能够监测来自偏远地区的进程。