二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9271269 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS G5是半导体製造过程中使用的一种蚀刻器/asher。它是一种干蚀刻技术,旨在降低总体拥有成本并实现对设备制造的更大控制。AMAT G5利用水平蚀刻方向在整个晶片上形成均匀的气流。该设备同时使用真空和高压等离子体蚀刻暴露的晶圆表面。真空作用是去除蚀刻过程中沉积在晶片上的颗粒和其他污染物。高压等离子体用于高精度和高精度蚀刻晶片表面。APPLIED MATERIALS G5还具有可扩展性和可配置性,使其能够轻松生成各种复杂的模式。它的模块化设计使得开发新配方、测试原型和提高生产率以及确保可靠的处理结果变得容易。该系统可以支持多个工艺室，能够处理最大8英寸晶圆尺寸的产品。G5还提供两种蚀刻模式的选择；单片和分批晶片模式，最多9个晶片。AMAT/APPLIED MATERIALS G5还配备了先进的控制和安全功能。其工艺室采用基于Web的集成界面，并配有触摸屏控件，用于自动化流程设置和监控。它内置了法兰泄漏、工艺室超压关闭、集成灭火和故障安全冷却系统等保护功能。该装置还具有集成的气体、电力和冷却输送系统，以实现可靠和可重复的工艺结果。AMAT G5是一款功能强大、用途广泛的蚀刻器/asher，适合多种应用。该机提供快速的过程控制和统一的结果，使其成为半导体行业研发的理想工具。此工具能够提供可靠和可重复的流程结果,同时提供经济高效的节能解决方桉。