二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9298595 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一种先进的蚀刻和灰化工具,专为高速、超精细特征蚀刻和灰化而设计,在处理半导体晶片时可提高晶片产量和节省成本。它具有高速的磁耦合溅射设备,能够快速蚀刻/灰化电路,以及具有紧密临界尺寸的高精度阵列处理。AMAT G5可以在湿式和干式两种模式下运行，并利用低压系统进行出色的过程控制。它具有扩展完整性,可提供可靠的可重复设备.可以通过集成的软件单元对蚀刻和灰化过程进行精确的监控和控制,从而能够精确控制蚀刻配方和灰化过程。应用材料G5将浆料应用于晶片，并使用高度先进的控制程序，以确保统一和精确的应用。可调蚀刻速率可提供最大程度的蚀刻,而不会导致晶圆形成或接触晶圆。这允许显着改善湿蚀刻均匀性和更高的etdoor壁，并减少粒子产生。G5还提供了一种可编程的P-CVD工艺，可以在晶片上应用氮化物、聚硅、氧化物等材料。AMAT/APPLIED MATERIALS G5的P-CVD特性使得晶片上的沉积和双面沉积都能快速准确。利用其集成的压力控制机，可以将材料精确地沉积到小而复杂的特征上，而不会对材料进行涂抹或熔化。AMAT G5完全自动化,具有高级HMI接口,可轻松直观地检入和检出晶圆过程,同时监控实时工具参数以及存储配方。它还为无应力工艺配方设置提供了可自定义的参数。APPLICED MATERIALS G5是一种用于制造半导体器件的坚固可靠的蚀刻和灰化解决方桉。G5利用先进但用户友好的HMI界面,提供了准确的过程控制,并提高了产量,从而提高了性能、节省了成本并提高了可靠性。