二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9314557 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一种蚀刻器/asher，设计用于等离子体蚀刻工艺的超高真空范围。该工具使用电离气体进行蚀刻和灰化应用，并且可以配置为执行干式和湿式蚀刻过程。AMAT G5所使用的电容耦合射频（RF）技术，使其可以蚀刻硅、的、石英、金刚石等多种材料。该蚀刻器/灰化器包括一个工艺室、一个真空设备、射频发生器、电源、气体入口、排气系统和一个控制器。该工艺室设计为密密麻麻，在操作过程中使用真空系统维持超高真空水平。并入工具的射频发生器产生射频功率，通过使气体分子电离，作为蚀刻过程的能量来源。此外,设备使用电源来维护和控制RF电源。APPLIED MATERIALS G5可用于多种应用，包括材料去除、表面清洁和等离子体辅助沉积。它能够蚀刻各种材料，包括半导体、石英和金刚石。该工具支持使用具有较高蚀刻速率的氟基CF4、Ar/CF4、CHF3和Ar/Cl2等化学方法进行蚀刻。此工具的深度蚀刻能力允许功能精度小于10nm。为确保最高质量的蚀刻,G5采用了隔热和冷却系统。该工具还设计方便维护，可手动操作或编程自动操作。再者，该单元使用闭环控制机在蚀刻过程中监测压力和温度。AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一种可靠、用途广泛的蚀刻和灰化工具，适用于MEMS器件制造、半导体器件制造、微流体、工艺研究等多种工艺。它有多种尺寸可用于满足不同的应用需求,可作为桌面模型或完整工具使用。此工具具有很高的过程重复性和准确性,是许多高级蚀刻和灰化过程的理想选择。