二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9399903 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 蚀刻器/Asher是一种多腔室、单晶片蚀刻器/Asher,为蚀刻和研磨工艺提供高级性能。这台可靠且低维护的机器具有经过验证的高精度技术,可针对复杂的蚀刻/灰烬工艺步骤和具有挑战性的材料进行优化。AMAT G5蚀刻器具有独特的可配置性和高通量，是半导体器件制造的理想工具。APPLICED MATERIALS G5 Etcher/Asher具有多室设计,可有效利用可用空间,并且完全集成且独立,便于安装。它能够提供卓越的工艺均匀性和高吞吐量,每小时最多可提供500个晶圆。G5还使用AMAT Turbo Technology提供高吞吐量和低拥有成本,同时还提供三种气体和两种温度控制器的最大容量。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 Etcher/Asher配备了先进的自动化能力，通过智能过程控制产生更高的可靠性和更高的产量。通过使用户能够将蚀刻器/asher配置为多种配方选项,它提供了配方的灵活性和成本效益,并且旨在减少空间需求并减少对其他设备的依赖。此外，AMAT G5还采用了一些安全功能，如内置传感器和自动关闭系统，旨在保护人员和设备。APPLICED MATERIALS G5 Etcher/Asher也经过设计，以最大限度地提高材料的相容性，使其能轻松处理广泛的底物，包括单晶Si、III-V化合物、晶圆载体和环氧树脂。无论基材类型如何，它对所有材料都具有优越的蚀刻速率，而且它的单晶片能力可以方便地蚀刻不同厚度和尺寸的基材。G5还利用先进的热控制,允许最大程度的配方灵活性,同时保持一致的薄膜均匀性和厚度。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 蚀刻器/Asher支持多种工艺,包括面膜蚀刻/灰分、湿蚀刻、干蚀刻和带状蚀刻/灰分工艺。这些过程可以配置为允许对蚀刻和灰化操作进行全面的过程控制和灵活性。该机还设有闭环气体系统，减少浪费试剂的数量，增加加工时间。此外，AMAT G5的设计尺寸紧凑，不需要额外的腔室，其低纸张消耗率有助于降低成本。