二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9400025 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一种以生产为中心的单室蚀刻器/asher平台，用于蚀刻和加工各种基材。AMAT G5的设计和制造旨在提供准确、可靠和可重复的性能,使其成为大批量制造过程的宝贵工具。APPLIED MATERIALS G5提供全方位的蚀刻能力，从低温到高功率蚀刻。可用于蚀刻硅材料如SiO2、Si3N4和SiC、氮化铝（AlN）以及深井蚀刻。蚀刻工艺可以针对各种应用需求进行优化，包括腔室温度和压力控制系统、工艺气体、射频功率以及其他各种硬件配置等一系列选项。G5具有独特的控制和剖析蚀刻室基板温度的能力。此外，可编程控制器允许通过用户友好的图形界面设置最佳温度、压力和气流剖面。该蚀刻器/asher还配备了安全联锁系统，以防止操作员受伤和操作危险，在发生危险时能够关闭泵和电源。AMAT/APPLIED MATERIALS G5还提供直观的用户界面,提供特定于流程的监控、自动数据采集和统计流程控制功能。这个直观的用户界面允许蚀刻器/asher以最小的操作员干预以有效的方式操作。它的控制系统是高度可靠和复杂的，使过程控制容易和有效，总是容易的过程优化。AMAT G5室容积为三升，可用于芯片生产，具有多种基材尺寸和蚀刻工艺。它设计为高效、可靠、坚固,非常适合工业生产过程。APPLICED MATERIALS G5是高性能蚀刻和灰化应用大批量生产的选择。