二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675 待售

用于Centura DPS II的AMAT/APPLICED MATERIALS Gas box是一款设计用于Centura DPS II系统的高性能蚀刻器/asher。它的设计目的是提供可靠、一致的性能与工艺过滤，加热和加湿气体输送设备。这样可以确保在宽达5英寸的基板上对薄膜材料进行精确、均匀的蚀刻和灰化。气箱有一个先进的控制面板，可以精确控制理想沉积过程所需的所有参数和条件。气箱设计用于广泛的蚀刻和灰化应用，如氧化物蚀刻、聚酰亚胺蚀刻和灰化、质量选择性蚀刻和2D图样灰化。它具有自动定心、可调节高度和悬臂定位的真空压板，提供卓越的蚀刻和灰度均匀性。气箱包括一个加热加湿的级系统，防止在基板或步进对准光学器件上凝结。它还包括一个经过工艺过滤的气体控制单元，其中包括独立控制的气体引擎盖和一个可以支持多达六种不同气体的气体溷合器。该机还包括五个隔热阀组件，有助于减少交叉污染的影响。此外，它还设有一个无锥形烧杯，用于容纳液体蚀刻剂，以及一个气体排水口，用于安全去除蚀刻剂。AMAT Gas box for Centura DPS II是一种先进的蚀刻和灰化工具,能够为各种应用提供高质量、精确的结果。它设计易于使用、安全和准确，具有工艺过滤气体输送、加热加湿级工具、隔热阀组件和液体蚀刻无锥形烧杯等特点。这确保了薄膜材料蚀刻和灰化的可靠和一致的性能。