二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407676 待售

AMAT Centura DPS II气箱是Centura DPS II 蚀刻器/asher的关键组件。它是一个封闭式气体箱，设计用来容纳并为蚀刻器提供精确的气体输入，用于清洁、精确的蚀刻和灰烬处理。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Gas Box由不锈钢製成，创造出耐用可靠的结构。该框具有两个端口。一个是向腔室供应气体的进气口，另一个是有效排出废气的出口口。有了这个盒子，Centura DPS II可以一次使用两到三种不同的蚀刻或灰化气体，允许用户自定义自己的流程。该箱还具有气体开关阀，可准确控制气体箱与蚀刻室之间的气体流动。阀门还设计了一个手动气体冲洗选项，这是重要的保持过程的一致性。为保持盒子的完整性，防止潜在的泄漏，所有通过盒子的线路都装有O形圈等密封材料。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Gas Box具有背面洗涤器,对蚀刻器的工艺稳定性很有帮助。这种洗涤器负责从机器的废气流中除去微量的腐蚀性气体。洗涤器还有助于保护其他系统部件免受有害腐蚀性气体的侵蚀。最后,燃气箱设计有一个直观的控制面板.此面板允许手动输入,允许高级用户通过调整入口压力、流量和真空压力来控制蚀刻气体流量和压力。这些功能也可以通过面板实现自动化,以实现流程优化。总体而言，AMAT Centura DPS II燃气箱是一个可靠、用户友好的燃气箱。其不锈钢结构、气体开关阀、背面洗涤器和直观的控制面板使其成为一种简单安全的蚀刻和灰化工艺系统。