二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407679 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS用于Centura DPS II的燃气箱是一种可靠、精密的蚀刻和灰尘设备。该系统在半导体工业中用于制造微观电子器件和元件。通过使用反应性气体从基板中去除材料，蚀刻和灰化工艺用于将图样转移到基板表面。该装置设有一个不锈钢腔室，设计用于150毫米晶片的可靠加工。该室是密封的，具有先进的气流控制以及用于整个过程控制的综合安全系统。该设备配备了Centura DPSII工艺控制器,该控制器提供用于精确气体分配的集成气体面板和前板控制按钮,可轻松访问机器菜单和设置。此工具还提供事件记录、诊断和故障类型显示功能。用于Centura DPS II的AMAT Gas box完全集成了先进的PLC控制资产,从而可以直接控制模型的过程和顺序。PLC控制设备还提供先进的故障检测以及安全和环境功能。该系统配备了用于监测和控制腔室压力的压力调节器，以及用于按照编程配方精确溷合和流动过程气体的气体歧管。该单元还具有内置配方管理单元，允许操作员根据需要快速检索、修改或创建新配方。适用于Centura DPS II的APPLIED MATERIALS气箱设计用于处理多达三种工艺气体,提供了一种高度可靠和高效的蚀刻和清洁解决方桉。该机器设计为可定制且用户友好。它可以很容易地集成到各种系统和自动化过程中。其高度先进的功能将确保整个晶圆处理过程的可靠运行。