二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hart是一款先进的蚀刻器和asher设备，设计用于提供半导体晶圆的精确和可重复蚀刻。该系统能够同时处理多达四个300 mm晶片,同时具有蚀刻和灰化功能。该装置配有定制设计的加热卡盘，可确保沉积在基板上的蚀刻/灰烬的预先确定和均匀厚度。AMAT Hart机采用磁助化学蚀刻（MAC-Etch）工艺，确保晶片的精确、均匀蚀刻。该工艺利用强电磁场的应用，对基板进行控制和可控的蚀刻。使用此过程,APPLIED MATERIALS Hart可以实现分辨率小于1 nm的蚀刻应用。此外，与传统的蚀刻工艺相比，MAC-Etch工艺产生的多晶粒残留量非常低。此外，该工具能够进行玻璃自旋（SOG）沉积，这是一种节省时间的工艺，旨在将含氧或含硅层沉积在基板上。这是一个有利的过程，因为它可以改善对基板的粘附和提高蚀刻均匀性。Hart资产还配备了激光热处理模型，用于更快地完成蚀刻/灰分工艺，且工艺步骤更少。激光热处理设备提高了蚀刻和灰化精度，产生了更好的基材精加工，提高了工艺的整体均匀性。该系统还与数据监测单元相结合，该单元允许存储和监测收集的过程和产品数据。这允许用户调整过程参数和参数，以提高过程的均匀性和精度。最后,该机器设计为易于使用,具有直观的用户界面。这使用户能够快速编程过程配方并控制其蚀刻和灰化过程。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Hart工具是一种用于精确度和速度蚀刻半导体晶片的强大而可靠的资产。