二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mark II chambers for P5000 #293590702 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS用于P5000蚀刻和灰烬系统的Mark II腔室为制造商提供了高度密封、加压的工艺环境。Mark II腔室专为生产半导体制造而设计,具有出色的设计特性,方便高效操作、维护和清洁。Mark II室具有多种与工艺相关的特点，为蚀刻和灰烬工艺提供了高效、可重复和准确的控制。Mark II配备了多个分层腔室，定义了工艺环境。前两层含有射频屏蔽，在蚀刻和灰分过程中隔离射频波形和等离子体浓度。第三层是装有两个隔热站的不锈钢箱。第一站设有燃气歧管、供气设备和燃气线路；第二站装有流体计量泵和射频发电机。第四层内部是工艺基座，在加工过程中支撑晶圆和磁感器。第五层是电磁干扰（EMI）屏蔽，保护外界环境免受污染，系统免受其他设备干扰。Mark II蚀刻和灰烬系统还具有一系列可编程功能,这些功能由Process Flow Manager （PFM）软件实现。PFM是一种全面的编程语言，允许与其他系统轻松集成，以及自定义循环场景和批处理配方。此外,Mark II腔室还包括一系列工具诊断程序,可用于详细的流程故障排除。Mark II等和灰烬系统还提供出色的安全功能。该单元配备了一个快速作用的互锁机，旨在对任何突然或意外的压力变化或等离子体电弧做出反应。发生电弧情况时,联锁装置会自动关闭刀具以防止进一步损坏。总体而言，对于需要快速、高效和可靠的工艺环境的制造商来说，用于P5000蚀刻和灰烬系统的AMAT Mark II腔室是一个极好的选择。凭借其先进的设计特点和全面的编程语言，该资产可以实现出色的蚀刻和灰烬过程控制，提高生产率水平，提高模型安全性。归根结底，Mark II室是任何现代制造设备的重要组成部分。