二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / MKS DPS II AE Minos #9399337 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/MKS DPS II AE Minos是一种最先进的蚀刻机/asher设备，常用于从各种基板製造高精度结构。利用先进的多室低压脉冲感应耦合等离子体源，能够以高精度和高精度进行蚀刻和灰化。该系统能够对2 μ m以下的小特性进行蚀刻,并采用先进的高RL电离蚀刻填充工艺,以确保达到最高精度。MKS DPS II AE Minos具有可配置的工艺室、大视口和一组RF分频器，可在整个晶圆表面提供均匀蚀刻。该装置的感应耦合等离子体源采用低压脉冲操作来优化蚀刻参数，同时最大限度地减少危险等离子体和副产物。高RL ICP光源具有2 μ m的等离子体蚀刻特性，可提供前缘精度和精度。AMAT DPS II AE Minos还提供了独特的、感应耦合等离子体（ICP）蚀刻填充工艺。此过程优化蚀刻参数,以提供高RL蚀刻轮廓和精确的特征控制。蚀刻填充过程可确保蚀刻过程中晶片表面的均匀性和一致性。此外,此计算机还提供了一个用户友好、可靠且用途广泛的软件包,可轻松控制流程。此软件包包括DPS 2.0 Process Control Tool,它包括配方开发和控制、机器硬件诊断和状态以及性能监控和报告功能。该资产进一步得到MKS全球服务和支持模式的支持。最后,APPLIED MATERIALS DPS II AE Minos提供了一系列通用的晶圆处理和传输功能。该设备设计为在单个传输系统内处理6"、8"和12"晶片，在需求变化时提供了极致的灵活性和便利。总之，DPS II AE Minos是一种先进的蚀刻器/asher单元，能够以高度的精度和精确度处理晶片。这台机器功能齐全,集成了一个用户友好的软件包,用于过程控制和优化,并提供了一系列通用的晶圆处理和传输功能。
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