二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP #157600 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS MxP
ID: 157600
Chamber.
AMAT(应用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS MxP Asher/Etcher是一种革命性的设备,用于当今先进电子元件的蚀刻/剥离。它能够同时蚀刻和剥离应用程序,从而在各种设置中实现多功能性。它是一个完全封闭的自动化平台,可以在任何给定时间处理多达三个基板。AMAT MxP Asher/Etcher采用脉冲低压蚀刻工艺,旨在保持基板表面的完整性,同时产生干净、一致的结果。该系统附带各种蚀刻工艺配方和可定制设置,以确保满足各种生产设置的具体需求。为了开始这个过程,首先将晶片引入机器的主室,在那里它暴露在氧气、氮和其他各种气体中。这些气体被用于启动蚀刻过程,并帮助保持晶圆的表面温度在其最佳水平。然后对基材进行低压淋浴,将蚀刻材料带走。这有助于确保基板表面的清洁、受控蚀刻。一旦蚀刻完成,基板就暴露在一个O2等离子体灰烬中,它从晶片表面去除了任何残留的金属氧化物。这种改进的清洁工艺导致更好的蚀刻和剥离效果,因为它可以减少生产过程中蚀刻性能和表面腐蚀不良的可能性。APPLICED MATERIALS MxP Asher/Etcher是一种易于使用的解决方桉,适用于那些希望获得优异蚀刻或剥离效果的用户。该设备采用最先进的设计,可最大程度地减少在较旧的asher/etcher模型中常见的故障、损坏或不良结果的风险。该设备能够轻松地处理困难的工作,使其成为当今先进半导体应用的完美设备。MxP Asher/Etcher是任何高科技生产设置的必备组件。
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