二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Omega #168263 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Omega Etch/Asher是一种高性能的等离子体蚀刻器/Asher设备,广泛用于需要严格控制工艺时间和温度的各种蚀刻和灰化应用。AMAT Omega由于其先进的技术,包括微处理器控制的系统和专门的过程测量和监控,对产品的变化作出了迅速而可靠的响应,从而提供了出色的过程控制。APPLIED MATERIALS Omega将蚀刻和灰化功能结合到一个可以同时处理两种类型的过程的单一工具中。它配备了一个可编程的电源和一个独立的等离子体产生室。电源提供从引入腔室的过程气体中产生等离子体所需的电力。为了确保在加工过程中有足够的温度和压力控制，欧米茄配备了先进的精密温度补偿系统。AMAT/APPLIED MATERIALS Omega由于通过等离子体限制实现了先进的气体分配，提供了卓越的蚀刻和灰化精度和可重复性。工艺控制单元的设计是通过提供精确的功率作为时间和温度的函数来优化蚀刻/灰分工艺。此外，先进的专利蚀刻/灰室技术可确保广泛的基材得到有效加工，不会造成任何类型的损坏。AMAT Omega提供了多种功能,例如配方开发工具、自动化过程调整以及对蚀刻/灰分过程的强大分析,以快速识别故障和异常,同时提供详细的过程信息和结果。此外，其先进的用户界面使APPLIED MATERIALS Omega成为一台用户友好的机器，提供了对过程参数的轻松访问，并允许操作员快速修改操作条件。通过将精度、速度和可靠性相结合,Omega Etch/Asher工具是寻求提高流程性能和确保性能质量的客户的理想选择。AMAT/APPLIED MATERIALS Omega凭借其出色的工艺控制、先进的等离子体生成能力和宽敞的腔室设计，非常适合高端蚀刻和灰化应用。