二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9411663 待售

ID: 9411663
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Metal etcher, 6" 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是专门为满足半导体制造行业需求而设计的蚀刻器/asher。这个特殊的模型是用一个金属压板和一个液氮冷却卡盘构建的,以提高工艺的均匀性,提高效率,并且比其他蚀刻器提高精度。AMAT P5000 Mark I是一种多区域蚀刻器/asher,具有单一负载设备,可提高均匀性和吞吐量。这种设备既能进行干蚀刻,又能进行湿灰化。此外,应用材料P5000 Mark I被设计为即使在沉积过程中发生的温度波动也能提供恒定的均匀性。P5000 Mark I为制造应用程序提供了一组高级功能。这包括一个高精度的三轴运动控制系统,允许它以高达1 μ m的精度控制高达500 mm/s的运动。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I能够执行各种沉积过程,如CVD、PECVD和ALD。AMAT P5000 Mark I还可以精确控制过程变量,如温度、压力和流量。此外,APPLIED MATERIALS P5000 Mark I具有很高的准确性和效率。该模型采用三级过滤装置,确保过滤过程中产生的所有颗粒和烟雾,以防止任何污染。该单元随后配备多个现场实时监控系统,用于参数的实时校正和过程控制。此外,P5000 Mark I非常耐用且易于维护。该装置采用耐腐蚀玻璃内饰和环氧基气闸设计,便于取用和清洁。这种蚀刻器/asher能够在高温下连续运行,并以安全可靠的方式持续产生结果。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I 蚀刻器/asher是一种先进且精密的制造设备。其多区设计、精密三轴运动控制机、先进的原位监控工具、可靠的温压控制能力使其可靠高效。这些特性使AMAT P5000 Mark I成为半导体制造行业的绝佳选择。
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