二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP Poly #9215552 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Poly 蚀刻器/asher是一种高速多晶硅蚀刻器/asher,旨在提高设备产量和计算能力。它专为提高半导体芯片上多晶硅蚀刻的均匀性和提高吞吐量而设计。AMAT P5000 MxP Poly etcher/Asher是一款功能强大的工具,可让制造商降低设备产量成本,并跟上不断变化的半导体芯片格局。应用材料P5000 MXP+POLY 蚀刻器/asher使用化学、热和反应性物质以受控方式快速蚀刻多晶硅。它具有内置的化学输送设备,能够精确控制气体输送,并为多晶硅蚀刻提供了理想的环境。P5000 MxP Poly 蚀刻器/asher具有双腔室处理,便于蚀刻双面薄膜。蚀刻器/灰化器也可在单室模式下用于将薄膜的一侧与另一侧隔离,以实现高分辨率和均匀蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MXP+POLY 蚀刻器/asher还具有创新的自适应调谐系统,可动态调整压力、温度和其他参数,以便在每次工艺运行时都能获得最佳的蚀刻效果。这种先进的调谐技术通过考虑室内温度、环境压力和气体组成等各种环境条件,优化了等离子体参数,以实现最佳蚀刻性能。AMAT P5000 MXP+POLY 蚀刻器/asher的模块化体系结构提供了过程一致性和产量改进。其可更换模块包括射频电源、工艺气体供应和冷却液,以保持一致和优化的工艺环境。可选的射频电流映射单元进一步提高了精度。P5000 MXP+POLY 蚀刻器/asher具有高精度工艺优化和高通量功能,旨在提高生产率和质量。APPLICED MATERIALS P5000 MxP Poly 蚀刻器/asher还配备了一个精密的监控器,用于物料表征和过程监控。此独特功能旨在提供反馈和控制,允许实时优化蚀刻参数以表征和验证蚀刻过程。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Poly 蚀刻器/asher还具有用于独立过程控制和编程的高级自动化工具。AMAT P5000 MxP Poly 蚀刻器/asher是半导体行业高端多晶硅蚀刻的完美工具。它在经济高效的软件包中提供了改进的设备产量、高吞吐量和精确的工艺优化。其先进的自动化功能使其成为所有蚀刻需求的理想选择。
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