二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5020E #9137195 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5020E是一种蚀刻器/asher,专门设计用于半导体工业中使用的光刻材料和其他聚酰亚胺的蚀刻和去除。它为厚膜和薄膜提供精确的蚀刻和灰化功能,允许用户优化其制造工艺并最大限度地提高产量。AMAT P5020E旨在改进流程控制和提高吞吐量,提供更快的周期时间和更严格的流程窗口。它提供了多种工艺气体,以实现最大的灵活性,并提供多种配方程序以实现可重复性。APPLICED MATERIALS P5020E设计有一个均匀的蚀刻室,可确保整个晶片上蚀刻和灰化结果的均匀性。它有一个三点故障安全设备和先进的热控制,以确保腔室温度保持稳定的一致结果。P5020E具有最先进的气体输送系统,可随时处理多达四种工艺气体。这为用户提供了精确控制气流、蒸气压力、压力等工艺参数的能力,以确保所需的结果。由于蚀刻和灰化过程涉及有害气体的使用,AMAT/APPLIED MATERIALS P5020E设计有VOC密封装置。这台机器有助于确保所使用的任何有害气体都得到控制,并将接触该地区任何人员的风险降至最低。蚀刻室还设计成以最小的努力进行维护,使用户能够轻松地清洁和进行维护,以保持过程在高峰状态下运行。AMAT P5020E的设计目的是在各种蚀刻和灰化要求方面提供优异的效果。从工艺参数的精确控制到有害气体的密封,应用材料P5020E是任何蚀刻和灰化需要的理想选择。凭借其统一的蚀刻室、先进的气体输送工具以及最先进的VOC安全壳资产,它一定会为任何半导体制造商提供他们所需的蚀刻和灰化结果。
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