二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PE-8330 #9148218 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330是一种用于在集成电路和其他微电子元件上沉积薄膜电介质的蚀刻器/asher。该设备能够在最短的时间内以精确和精确的方式蚀刻各种薄膜和材料。该工具占地200毫米x 490毫米,为生产线集成提供了一个紧凑的解决方桉。AMAT PE-8330利用反应性离子蚀刻（RIE）和感应耦合等离子体反应性离子蚀刻（ICP）来获得广泛的结果。RIE模式用于电介质的精密蚀刻，蚀刻选择性低至2：1，以获得最佳膜厚度均匀性。ICP过程提高蚀刻速度,同时保持高度控制。APPLIED MATERIALS PE-8330室具有独特的无人驾驶自动调平平台，机械不均匀度小于0.15 MM。无驱动器设计允许连续的过程可重复性,而不会误载部件。此外，该工具还具有低应力的工艺环境，具有一托室压力和高达45千瓦的射频功率。PE-8330的控制器是具有多种数据显示模式的独特过程监控器，允许操作员实时观察蚀刻过程。控制器能够存储多达700种用于过程控制、跟踪和自动优化的配方。该系统提供了快速可靠的蚀刻,同时还确保了安全的工艺环境。AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330是一个高度可靠的单元,行业领先的正常运行时间超过90%。即使在各种条件下，包括高温和低负载过程下，该工具也是为连续使用而设计的。坚固的设计还确保了最低限度的维护要求和较低的拥有成本。总体而言,AMAT PE-8330 蚀刻器/asher是一种易于使用的机器,可提供快速准确的蚀刻结果。该工具专为自动化生产而设计，能够以精密和高通量蚀刻各种材料。凭借其先进的功能,APPLIED MATERIALS PE-8330提供了可靠的蚀刻解决方桉,可确保过程可重复性和最低维护要求。