二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD HTHU #179312 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PVD HTHU是一种在真空环境中用于薄膜沉积和其他表面修改的蚀刻器/灰化器。该设备专门设计用于高精度基板加工，如蚀刻和灰化、薄膜沉积、氧化层沉积和IC器件钝化。AMAT PVD HTHU系统由蚀刻或灰化室和真空单元两个主要部件组成。蚀刻或灰化室是一种不锈钢外壳，里面装有加工气体、基材和其他加工设备。其设计支持高温基板加工，符合洁净室和安全合规性标准。真空机用于调节气体通过蚀刻/灰化室的压力和流量。它由真空泵、压力传感器和用于压力控制的阀门组成。APPLICED MATERIALS PVD HTHU利用一种称为溷合热过程（HTHU）的独特技术来沉积或蚀刻薄膜和其他材料。在这个过程中，热和等离子体的组合被用来沉积或蚀刻薄膜。基板被加热到接近熔化的温度，同时产生等离子体，这进一步有助于在基板表面上蚀刻或形成薄膜。此过程重复多次以创建所需的属性。产生的薄膜或图样非常薄且控制精确。PVD HTHU也可用于其他基板表面修饰，如氧化物层沉积、钝化和粘附。这些过程都在同一个真空工具的同一个蚀刻/灰化室中进行。这为许多设备制造过程提供了集成且有效的表面修改。AMAT/APPLIED MATERIALS PVD HTHU是一种先进的蚀刻/灰化资产,为现代晶圆厂环境提供精确可靠的基材处理。它设计用于高精度加工，可用于多种基材，可用于各种薄膜沉积和其他表面修改。AMAT PVD HTHU是许多设备制造过程中必不可少的蚀刻/灰化模型。