二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Tetra #293633171 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在提供卓越的效果。该设备集成了四种不同的工艺，旨在实现各种材料的高速蚀刻和灰化。AMAT Tetra结合了等离子体蚀刻、RIE（反应性离子蚀刻）和ashing、O2蚀刻和ashing，以及湿蚀刻和ashing。这个先进的系统能够同时进行表面和深度蚀刻，提供灵活和高效的处理能力。应用材料Tetra利用先进的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺对表面材料进行蚀刻和灰化。这种装置能够在低温和低压下进行蚀刻和灰化，产生优异的工艺效果。Tetra旨在实现极快的处理时间,为用户提供无与伦比的吞吐量和数据采集速率。本机效率高，材料利用率高，运行成本极低。AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra还提供了一种先进的反应性离子蚀刻器/灰化器，其基础是使用氧气、NF3、CHF3和Ar等各种气体的蚀刻/灰化工艺。此工具旨在提供跨多个表面的极其均匀的蚀刻,以及对蚀刻深度和选择性的极其精确的控制。AMAT Tetra还支持湿蚀刻和灰化,从而提高了大型应用中的生产率。这一资产使用户能够比传统的湿处理更快地实现蚀刻速率,减少周期时间,并为用户提供卓越的效果。APPLIED MATERIALS Tetra提供一系列自动化和过程控制选项,以确保最大程度的灵活性和效率。该模型旨在提供卓越的工艺重复性和可靠性，并与现有的物理和化学工艺室兼容。Tetra还提供了一个综合密室关闭设备，可提高安全和操作能力，而无需额外的安全壳。AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra是一个高级系统,旨在提供卓越的蚀刻/灰化性能。本单元结合等离子体蚀刻、RIE、O2蚀刻、湿蚀刻和灰化四种不同工艺，为用户提供卓越的工艺效果。这台机器能够在低温和低压下进行表面和深度蚀刻，具有出色的工艺重复性和可靠性。AMAT Tetra还提供灵活的自动化和过程控制选项，以及用于增强安全和操作的集成腔室关闭工具。