二手 AMAT / APPLIED MATERIALS WC MCA #179308 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS WC MCA是专门为晶圆制造而设计的组合蚀刻器/asher。它被设计为快速蚀刻和粉刷选定的材料，去除特定的区域和保持芯片的其余部分完整。配备了集成真空设备，MCA能够在蚀刻过程中去除颗粒或不需要的残留物，进一步提高了工艺的精度和速度。此外，MCA还配备了强大的电源管理系统，用于控制和调节蚀刻时间，最大限度地减少能耗，最大限度地提高吞吐量。MCA有多种蚀刻应用，从需要干蚀刻溶液的深蚀刻，到切割特定材料层和浅沟的浅蚀刻溶液。这样可以精确控制过程,为最终用户提供高效和高度精确的蚀刻结果。MCA还具有温度控制功能，允许对蚀刻溶液进行精确的温度控制，消除液体蒸发的影响，支持一致的蚀刻速率。额定功率为200-300瓦,此蚀刻/酸痛装置的占地面积为24英寸x 24英寸,高度为32英寸。MCA设计易于集成到自动晶圆制造系统中,可用于串行或并行过程配置。MCA的占地面积小,非常适合用于小型制造设施,其外形尺寸小,意味着它可以安装在狭窄的空间中。MCA还具有两个晶片盒式磁带，这意味着它可以每批蚀刻多达30个晶片，允许大批量生产。MCA的控制机可精确控制蚀刻过程，防止蚀刻参数不一致造成"蚀刻过冲"。此外,该工具还提供了高级流程监视和数据收集功能,允许用户存储可重复流程的配方,或者在出现问题时存储用于分析的调试信息。所有这些都是关于准确性和吞吐量的,AMAT WC MCA提供了。MCA具有可靠、精确的蚀刻和灰化解决方桉,能耗低,通量大,非常适合晶圆制造设施,希望提高生产效率和整体成本效益。