二手 AMS 602 #293608576 待售

AMS 602是一种反应性离子蚀刻器（RIE），用于硬质材料的深度蚀刻和剖析。它旨在实现卓越的流程重复性和高流程吞吐量。它具有高度的过程控制和稳定的条件，即使在高通量的应用中也是如此。602是一种高压设备，最大偏压为1.5 Torr（1.5 × 10−3 mbar）。这确保了该过程是高度可重复的，并且离子能量不会受到压力波动的不利影响。AMS 602配备了双阳极型阴极，使其在保持高工艺可重复性的同时实现了较高的蚀刻速率。双电极能够提供对离子电流、气流和偏压的独立控制，使得在选择蚀刻配方时可以考虑广泛的工艺参数。该系统还能够提供对蚀刻选择性和表面粗糙度的高度控制。高水平的蚀刻选择性对于实现高质量的蚀刻轮廓非常重要,而较低的表面粗糙度可最大程度地减少过度蚀刻造成的材料损失。602能够通过使用专门的蚀刻配方以及在蚀刻气体中添加掺杂剂和其他材料来提供这种水平的控制。AMS 602配备了集成水冷装置，使其能够实现高工艺速度。冷却机还有助于保持冷却器和刀具部件在安全的工作温度下，确保高度的可靠性。水冷资产旨在经济高效地冷却蚀刻室，从而优化工艺速度、重复性和质量。总体而言,602是一种先进的反应性离子蚀刻器（RIE）,用于硬质材料的深度蚀刻和剖析时,可提供出色的蚀刻速率、工艺重复性和优异的效果。它结合了过程控制、高蚀刻速率和可靠的水冷,即使在高通量应用中也能确保优异的效果。