二手 ANATECH P600 #9155507 待售

ANATECH P600是用于半导体、薄膜集成电路和其他微电子元件的高级蚀刻器/粉碎器。它是一个单一腔室的模型，拥有强大和多用途的工艺能力。此蚀刻器/asher的温度范围为-150至300 °C,可快速制造高纵横比为1：10或更高的超精细特性。其不锈钢室容积为480升，并配有六个500W加热器电源，用于均匀的温度分配。其风扇冷却的加热器元件在灰化过程中提供均匀的加热。此外，P600 蚀刻器/asher利用射频等离子体源来高效和经济地清洁和蚀刻材料表面。该模型能够利用氧气、氮气、氙气等干燥气体，创造出符合蚀刻应用要求的工艺环境。它有四个0到500瓦的射频功率级别，允许它为不同的项目创造优化的工艺条件。ANATECH P600 蚀刻器/asher具有3.8英寸液晶界面,允许用户设置和调整所有必要的参数,以便成功应用蚀刻和研磨工艺。这包括温度、泵速、射频功率、流量和其他特定于产品的参数。此外,用户还可以监控工艺压力、温度和真空水平,以确保实现蚀刻和灰化所需的条件。该腔室配有一个泄漏探测器，使它能够在过程开始前进行校正，以确保满足完美的条件。P600 蚀刻器/asher具有强大的窗户清洁系统，有助于提高样品能见度和减少污染。它还装有石英晶体微平衡系统，可以监测各种工艺步骤的沉积速率。氮气净化系统有助于防止样品氧化，水冷窗口提供防辐射热量。蚀刻器/灰烬与许多不同的气源兼容，使其成为许多准分子激光、等离子体、各向异性、定向能量沉积等应用的合适选择。它的环保设计使其成为实验室的理想选择，因为实验室的可持续性非常重要。ANATECH P600 蚀刻器/asher可靠、高效、易于使用,是任何微电子相关应用的绝佳解决方桉。