二手 ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994 待售

ANATECH/TECHNICS 600-Series蚀刻器或灰烬机是专为蚀刻或灰化基板工艺而设计的通用加工系统。ANATECH 600-Series 蚀刻器/asher系统提供了最大的性能和灵活性,使即使是最复杂的设计的生产运行也能高效且可重现。该设备具有专有的1200W射频发生器、石英等离子体室、可定制的工艺、快速简便的配方编程、低压控制以及其他高级功能。TECHNICS 600 SERIES系统能够蚀刻多种材料，包括金属、聚合物、玻璃、半导体和厚膜。该设备设计用于实验室和生产运行,可调节的吞吐量范围为每小时600晶圆。这是一台Arch-Gap （AGAP）机器,它利用专有的"可调"等离子体间隙技术,以精确的重复性提供卓越的蚀刻性能。这样就不需要昂贵的晶圆移动和麻烦的焦点控制。600系列工具还具有基于控制台的直观软件,可提供直观的操作员指导和控制。该软件能够控制配方设置、等离子体参数、基板运动、温度控制、气体和其他关键工艺参数。灵活的编程资产允许用户快速上传配方，并用不同的参数进行试验，以产生最佳的结果。600-Series模型能够在受控、安全的环境中使用各种蚀刻化学方法进行蚀刻和灰化。对于蚀刻应用，设备采用自动化的多气体喷射系统，非常适合提高灵敏度、准确性和控制。该装置还提供各种气体清洁器和重组器，能够精确控制蚀刻环境。除了蚀刻和灰化之外，TECHNICS 600-Series机还设计用于处理各种溅射过程。该工具与各种溅射目标和基板兼容，如金属合金和硅层。其溅射过程控制功能使用户能够轻松获得所需的沉积厚度和轮廓。ANATECH 600 SERIES资产提供了许多其他功能,包括容积室、自动视觉、亚微米晶圆分辨率和可选的双烤箱盒式磁带型号。这种先进的蚀刻器/asher设备是一个完整的交钥匙解决方桉,可最大限度地提高工作效率、灵活性和可重复性。