二手 ANATECH / TECHNICS SP150 Quartz #9249322 待售

ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz是一个蚀刻器和asher.它是半导体工业用于硅加工的最先进的技术之一，非常适合广泛的蚀刻、图样和沉积应用。ANATECH SP150 Quartz能够以非常高的精度和精确度产生复杂的图样。这使得它成为前端工艺如光掩模生产和基材蚀刻的理想选择。TECHNICS SP150 Quartz使用定向电离光束进行蚀刻。该光束由带电粒子束柱引导，并通过动态光束控制热电子生成。这样可以使蚀刻过程非常精确和准确。梁的参数也是可调的，允许改进过程控制和灵活性。SP150 Quartz具有坚固的框架设计,适合高温工艺。框架也是由高度耐用的不锈钢製成，使其能抵抗氧化和腐蚀。该装置还具有自动清洁和润滑元件，减少了维护要求，并保持系统以最佳效率运行。ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz还具有一个溷合气室，具有先进的气流控制，提供对蚀刻过程的大气控制。对环境的精确控制使得蚀刻能够将不希望的材料沉积降到最低。它还包括一个串联抑制剂蚀刻系统，减少了蚀刻过程中晶圆的损伤。ANATECH SP150 Quartz还与RIP兼容,RIP是一个功能强大的机器人集成平台,可实现全自动蚀刻过程。RIP是大规模生产的关键组件,有助于提高吞吐量、提供卓越的质量和缩短周期时间。总体而言，TECHNICS SP150 Quartz是一种功能强大的蚀刻器和灰化器，能够产生精确和准确的图样，且材料损失最小。其强大的车架设计、先进的气流控制以及与RIP的兼容性，使其成为大批量生产的绝佳工具。