二手 ANTON PAAR HPA-S #293638236 待售

ANTON PAAR HPA-S Etcher/Asher是一种创新的、具有成本效益的蚀刻和金属沉积设备,非常适合用于研究实验室和其他应用。HPA-S系统结合了高功率的金属蚀刻和沉积，精度和精确度都很高。该单元可以在多种基板（如硅、玻璃、陶瓷和金属）上沉积高达几微米厚的金属层。凭借5轴机械臂和高分辨率精密静电卡盘，ANTON PAAR HPA-S结合了精度、灵活性和性能。HPA-S具有低调的外形,脚印最小,设计适合各种空间。交钥匙机由几个部件组成，包括高精度蚀刻室和静电卡盘。室内，利用氢气和氮气的受控气氛进行蚀刻和沉积工作。内部组件是为可靠性、长期性能和最佳操作而量身定制的。高精度集成确保了出色的均匀性和精确的温度控制,使用户能够在不改变材料结构和性能的情况下精确地步进、发现或扫描材料。ANTON PAAR HPA-S遵循将氢等离子体或氙等离子体与富氧等离子体（ORP）技术结合的原理。这使得机器在不同的基板上实现了非常高的蚀刻精度。作为蚀刻器，HPA-S能够实现高分辨率和高蚀刻率，并产生极好的最终效果，最小溅射，以及更好的各向异性。而作为一个asher，它可以在大的零件和侧面提供极好的均匀性。ANTON PAAR HPA-S设计用于半导体器件制造、封装、MEMS和医疗植入物等应用。此外，HPA-S工具还配备了顶尖的软件，使用户能够轻松快速地对他们想要的蚀刻和沉积过程进行编程。软件对各种蚀刻参数进行调整，实时监控设备的效果，从而实现更快的工艺周期和更高的生产吞吐量。ANTON PAAR HPA-S也符合严格的安全和环境法规，因此用户可以得到安全和负责任的操作保证。总而言之，HPA-S为蚀刻和金属沉积提供了一个出色且用户友好的解决方桉。ANTON PAAR HPA-S结合了高性能和高精度的功能,是研究和工业应用不可或缺的工具。