二手 APS / ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series #9390804 待售

APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列是一款先进的蚀刻器/asher，专为广泛的应用而设计，包括微电子、光电子和MEMS。APS B系列配备了多种先进的等离子体源，用于精确、精确地蚀刻基板。ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列具有真空室，能够产生和控制所需的工艺压力，以确保最佳的蚀刻工艺。可以利用内置的直流/射频发生器实时监控和执行蚀刻过程,该发生器可精确控制等离子体源的能量,以满足工艺需求。B系列还提供了一个独特的气体控制器，允许即时设置和监控气流参数。APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列装载了安全功能，以确保用户安全和设备保护。这些功能包括：中央真空泵，用于将腔室排空到安全的大气中；高压紧急中止按钮，用于自动为等离子体源断电，以防止意外损坏。APS B系列还采用了优化设计,以减少工艺或工艺带来的任何潜在污染。这包括一个防污染系统，向室内注入少量氮，以防止任何潜在的基质污染。ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series设计为提供最佳蚀刻性能。等离子体源能够以高精度和最小的损伤精细处理基板。由于B系列的灵活性，可以使用多种蚀刻技术：干水表面加工、磁控管溅射和改性辉光放电。APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列还具有同时执行RIE（反应性离子蚀刻）和RBO（反应性散装氧化物蚀刻）技术的能力。执行两种技术的能力允许更快的处理时间和更高的吞吐量。APS B系列是一款高级蚀刻器/asher,旨在实现蚀刻过程中最准确、最一致的结果。先进的功能允许精确控制等离子体，以及防止污染的自动化安全功能。凭借其灵活的设计，ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列可用于广泛的应用。它是各种蚀刻工作坊的完美解决方桉。