二手 APTC Selex #9382377 待售

APTC Selex是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD），蚀刻/灰化设备，设计用于对工艺参数进行精确控制。这种精确控制允许沉积和制造小型、高精度的金属结构和特征。该系统既利用高频无线电波产生等离子体放电，又利用高压直流弧以极高的精度蚀刻材料。这两种技术的结合使Selex成为一种非常通用的沉积和蚀刻/灰化装置。该机器配有各种气体进料管线和腔室，旨在针对不同类型的材料进行优化。这包括一个高密度的石英反应堆，可以提供各种材料的均匀蚀刻。它还具有一个小型二次反应堆，温度范围可调，可精确控制蚀刻模式和材料沉积。对工艺参数的精确控制使得小型高精度结构可以重复和可靠地制造。该工具还包括一组易于使用的控制器和软件。直观的软件允许快速设置和交付一系列专门设计用于处理过程中使用的不同材料的工艺配方。软件还允许对每个单独的流程步骤进行精确调整。这使得微调蚀刻过程以获得最佳效果变得容易。APTC Selex资产的另一个特点是能够集成远程RFID代码读取器以自动跟踪处理过的部件。这可用于为生产周期中的任何过程步骤提供清晰的审核跟踪。这提供了有关每种产品的宝贵数据,使制造商能够快速准确地改进生产过程或发现生产问题。综上所述，Selex是一种通用的蚀刻/灰化模型，能够精确蚀刻和沉积一系列高精度结构。利用高频无线电波产生等离子体放电和高压直流弧蚀刻材料。用户友好的控件和软件使微调每个流程步骤变得容易,从而实现可重复的结果。集成远程RFID代码读取器的能力也为生产过程的改进提供了宝贵的数据。