二手 ARC ENERGY CHES400 #293667292 待售

ARC ENERGY CHES400是一种蚀刻器/aser,设计用于各种任务的简单操作。这一设备利用真空设备将被测装置（DUT）暴露于强烈的等离子体源，创造了一个高度选择性和可重复的装置蚀刻或灰化过程。这个製程室具有三室设计，有预室来製造等离子体、包含真空蚀刻或灰化过程的反应室，以及气体输送系统来将反应气体引入反应室。CHES400设备装有内置射频发生器，产生射频信号，产生电火花等离子体反应。ARC ENERGY CHES400的RF电源从0.05到15kW不等,因此可以运行各种等离子体蚀刻/灰化过程。计算机控制的可编程逻辑控制器允许用户进行可编程过程配置，使用户能够自定义过程以满足他们的精确要求。CHES400设备先进的标线定位单元包括先进的运动控制能力。设备机器还包括真空工具和气体输送系统，以确保反应室内的最佳操作条件。为防止DUT过热,ARC ENERGY CHES400还包括一种先进的冷却设备,用于将蚀刻温度保持在预定的设定点。CHES400还包括一个礼帽式压力室，允许自动排出和排出反应室中的气体。ARC ENERGY CHES400设备旨在提供可靠、可重复和可重复的蚀刻/灰化操作,确保在广泛的应用中表现出色。精密的模型能够创建非常均匀的蚀刻轮廓,且材料蚀刻损耗最小,对DUT的损坏也最小。此设备执行的蚀刻/灰化过程也具有很高的选择性和可重复性,从而产生易于管理的一致蚀刻性能。该设备还设计有高压传感器、紧急关机、报警等安全功能，保护人员和设备免受危险情况影响。总体而言,CHES400是一种先进的等离子体蚀刻/灰化设备,可为用户提供可靠、可重复和可重现的广泛应用性能。该设备设计方便操作，为蚀刻/灰烬开发和定制操作提供了出色的灵活性，以适应特定的蚀刻需求。