二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CEDE-100L #293757157 待售

ID: 293757157
优质的: 2013
System 2013 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L是一个高度先进的蚀刻器/asher系统,旨在对半导体制造和研究应用中使用的各种材料进行精确高效的处理。这一尖端工具提供了一系列功能和特点,使其成为需要高精度和可靠处理解决方桉的行业的重要资产。AST CEDE-100L配备了一个精密的等离子体蚀刻单元,能够对蚀刻过程进行精确控制,以达到统一和可重复的结果。该机采用等离子体化学、气流控制和射频功率调制的组合,根据所加工材料的具体要求定制蚀刻工艺参数。这使得该工具能够以极好的均匀性和选择性实现高度精确的蚀刻轮廓,使其非常适合广泛的应用,包括光刻剥离、表面清洁、材料去除和图案转移。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY CEDE-100L的一个关键特点是其先进的工艺室设计,它结合了高性能真空模型,确保了清洁稳定的处理环境。该设备配有用于快速疏散腔室的涡轮分子泵和在整个蚀刻过程中保持所需工艺条件的精确压力控制系统。这种坚固的腔室设计最大程度地减少了污染,提高了过程的可重复性,并确保即使在长时间的处理过程中也具有很高的过程可靠性。除了先进的工艺室设计外,CEDE-100L还配备了一个精密的射频供电单元,提供对等离子体产生过程的精确控制。该机器具有高频射频发生器和匹配网络,可精确调整射频功率级别,从而优化整个处理区域的等离子体密度和均匀性。这样可以确保一致和可靠的蚀刻性能,即使在处理大型基材或复杂图样时也是如此。此外,AST/ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CEDE-100L提供了一个用户友好的界面,使操作员能够轻松地对蚀刻过程进行编程和监控。该资产配备了带有直观软件的触摸屏控制面板,可提供实时数据可视化、过程监视和错误记录功能。此用户友好界面使操作员能够快速设置新流程,即时调整流程参数,并诊断处理过程中可能出现的任何问题,从而提高生产效率并减少停机时间。此外,AST CEDE-100L的设计考虑到了可扩展性和灵活性,可方便地集成到现有的工艺系列中,并与各种工艺化学和材料兼容。该模型可以用各种选项和升级来定制,以满足特定的应用要求,包括额外的气体输送系统、晶圆处理机制以及先进的过程监控工具。这种可扩展性和灵活性使ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L一种通用的解决方桉,可用于半导体、MEMS、光学和纳米技术行业的各种蚀刻和粉刷应用。总之,CEDE-100L是一个高度先进的蚀刻器/asher系统,它为各种材料处理应用程序提供了无与伦比的精度、可靠性和灵活性。AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY凭借其先进的工艺室设计、先进的射频电源输送单元、用户友好的界面和可扩展性功能CEDE-100L是需要高性能蚀刻解决方桉的行业不可或缺的工具。
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