二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485 待售
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ID: 9059485
晶圆大小: 2 to 8
优质的: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100是蚀刻/灰化技术的创新发展。该系统为要求最苛刻的公司提供领先的蚀刻/灰化技术。其尖端技术提供精确的结构特征以及更高的准确性和生产率。AST CIRIE-100可以通过其高级工艺在一个单独的通道中刻蚀/刻蚀板和面板。它利用各种工艺气体，允许选择性蚀刻深度和物料去除，从而产生高度精确和可重复的结构。凭借其先进的工艺设计,ADVANCED Unit TECHNOLOGY CIRIE-100可容纳各种板材和面板材料,包括FR-4、Cem-3、聚酰亚胺、铝等。CIRIE-100的机动化高度调整机允许在最短的停机时间内快速轻松地更换模具。该工具还具有先进的运动控制和驱动资产以及高速扫描算法,可实现更快的蚀刻特征分辨率。它紧密集成的模块化设计允许根据客户的需要定制多功能集成和可扩展性。AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100提供了多种附加功能和配置,包括集成的再循环设备和可配置以满足不同流程需求的高级流程功能。它具有用户友好、直观的控制器界面以及生成手动和可编程配方的能力。系统以自动、半自动和手动模式运行。AST CIRIE-100还提供各种高级安全功能,以保护设备免受意外损坏以及操作员安全。这些功能包括集成互锁、NFPA安全合规性和除尘功能。该机器经过CE认证,符合UL标准,可安全用于各种工业应用。总体而言,ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-100提供了高度可靠和高效的高级蚀刻/灰化解决方桉。凭借CIRIE-100的尖端功能和高级工艺功能,用户可以实现精确的结构特征,从而提高准确性和生产率。
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