二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L #9059489 待售
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ID: 9059489
优质的: 2011
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
RF Power: 300 ~ 1000 W (Option)
Substrate Temperature Control: RT ~ 400℃
Wafer Numbers / Size: (30 -1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Reactor Base Pressure: < 1E-3 Torr
Process Pressure Range: From 50 mTorr to 10 Torr
Pumping System: Roots pump + Rotary pump or Dry pump(Option)
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System (Option): Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure (Option): < 1E-2 Torr
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 20 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L 蚀刻器/asher是一种在金属零件上进行高级蚀刻和灰化技术的精密机器。该蚀刻器/asher具有低压、均匀、内部的等离子体射流,可用于在一系列材料中同时蚀刻和粉刷组件。AST CIRIE-100L是一台台式机,具有精确的台式和安装系统,可在蚀刻和灰化过程中提供准确的定位。蚀刻器/Asher能够实现高达0.0005英寸的蚀刻深度和高达0.001英寸的灰度深度,以及精确的线宽控制和可调节的相移。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L 蚀刻器/asher还配备了高级功能,具有卓越的蚀刻性能和asher性能。这些特性包括静电自放电、高清晰度波形控制、VCV滤波、高动态范围控制（HDRC）和轴向控制加速度（ACA）,旨在确保最大精度和重复性,以及改进表面轮廓以高效去除材料。CIRIE-100L蚀刻器/灰化器还配备了先进的安全功能，如干氮供应传感器、气体监测和泄漏探测器，以防止意外排放。蚀刻和灰化过程均由易于使用的开放式平台软件套件控制,该套件允许操作员实时监视蚀刻和灰化过程。AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY凭借其先进的安全措施、高精度和高质量的蚀刻和灰化性能,CIRIE-100L蚀刻器/灰化器被设计为一种用于高级蚀刻和灰化应用的可靠解决方桉。
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