二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #192121 待售

ID: 192121
优质的: 2006
ICP-RIE system Currently installed 2006 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一款先进的蚀刻器/asher,其设计目的是在需要精确和精确的应用程序(如半导体加工)中提供一致、可靠的蚀刻和灰化结果。AST CIRIE-200在线性光束系统上运行,以便以高度的均匀性和可靠性精确蚀刻和灰烬。该单元允许传递均匀的各向异性特性,去除层迭或材料桥,同时产生更锐利的边缘,从而确保结构平滑。ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200坚固的设计使其实现了高吞吐率,最大蚀刻时间为每晶圆3分钟,直径可达8英寸。这种令人印象深刻的吞吐量能力是由线性光束工具实现的,该工具具有广泛的动态能量传递范围,可确保满足各种材料的需求。该资产具有集成的亚纳秒脉冲发生器,可提供瞬时热能而不产生化学副产物,非常适合用于处理易碎材料。CIRIE-200是一个非常通用的模型,能够蚀刻多层不同温度和厚度的材料。这使得它非常适合专门的蚀刻工艺,因为设备可以很容易地进行校准,以满足广泛的蚀刻参数。该系统具有直观的人机界面(HMI),为用户提供有关单元操作的详细反馈,方便操作维护。AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200按照严格的安全标准构建,具有自动安全关闭功能,以防止刀具损坏或伤害。该资产可确保人员和部件免受潜在的蚀刻和灰化危害。该模型还采用双重隔离技术,以减少与微波等离子体操作相关的任何潜在风险。总之,AST CIRIE-200是一种非常先进的蚀刻器/asher,可确保在高吞吐量下始终获得可靠的结果。它结合了坚固的结构和多用途的校准功能,使其成为任何蚀刻或灰化应用程序的理想选择。
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