二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #293758400 待售
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AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一个精密的蚀刻/asher系统,旨在为半导体制造和其他纳米技术应用提供精密处理。这个先进的工具结合了最先进的技术和功能,为各种蚀刻和灰化过程提供了高度的灵活性、可靠性和过程控制。AST CIRIE-200装置配备了一个多用途的腔室,能够容纳多种工艺气体,并提供广泛的等离子体化学物质,以实现从硅片到先进材料如III-V化合物和介电膜等底物的精确蚀刻和灰化结果。这种灵活性允许用户量身定制工艺条件,以满足特定的设备要求和材料属性,使得ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200适合各种研究和生产应用。CIRIE-200工具的一个关键特点是其先进的等离子体源技术,它能够在整个加工室中高效、均匀地生成等离子体。资产利用高频射频功率维持稳定的等离子体放电,促进蚀刻/灰化过程的均匀性和一致性。这种高性能的等离子体源确保了可靠和可重复的结果,对于过程开发和生产质量控制至关重要。AST/ADVANCED MODEL TECHNOLOGY CIRIE-200设备还集成了先进的工艺监控能力,能够实时调整气体流量、压力、温度、射频功率等关键参数。此控制级别允许用户优化工艺条件,以获得最大的蚀刻/灰分速率、选择性和轮廓控制,从而为各种设备结构和材料提供精确且可重复的结果。在安全性和可靠性方面,AST CIRIE-200系统设计有多个联锁和安全功能,以确保操作员在运行过程中的保护和单元完整性。该机器还包括可靠的诊断和自检例程,以方便维护和故障排除,最大限度地减少停机时间并提高半导体制造设施和研究实验室的生产率。ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-200资产配备了用户友好的界面和软件控制模型,便于配方管理、数据记录和远程监控功能。此直观的界面允许操作员轻松编程和执行复杂的蚀刻/灰化过程,以及分析和可视化过程数据以进行优化和文档记录。总体而言,CIRIE-200是一款尖端的蚀刻器/asher设备,为半导体加工和纳米技术应用提供无与伦比的性能、精确度和多功能性。AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY凭借其先进的等离子体源技术、过程控制能力和用户友好的界面,为寻求推动半导体行业设备制造和材料加工边界的研究人员和工程师CIRIE-200了一个全面的解决方桉。
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