二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #9059484 待售
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ID: 9059484
晶圆大小: 2 to 8
优质的: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一种高级蚀刻机,旨在满足专业工程和电气应用的需求。这种尖端设备能够产生快速和精确的结果，具有卓越的精度和精确度。AST CIRIE-200利用先进的设计和施工原理来确保每个操作都能高效运行。最令人印象深刻的功能之一是,它的自动化过程无需任何手动干预即可运行,进一步使过程更加可靠。该机配备了强大的电机和柔性传动系，使其能够自动调节切削速度、叶片压力和扭矩。其优越的运动控制确保其精度和准确性保持在一个一致的水平，甚至随着时间的推移。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200还具有独特的空气净化操作,允许其无石棉操作。此功能有助于保护操作员和产品免受有害灰尘、颗粒和烟雾的侵害。该机还具有出色的5轴驱动单元,提供卓越的精度和无与伦比的速度。滑板允许切削板厚度从0.001英寸到1.500英寸,精度为±. 0002英寸。这使得它非常适合复杂和详细的蚀刻。除了令人印象深刻的性能外，CIRIE-200还配备了多种先进的安全功能。其用户友好的界面使其易于设置和操作,而其精确的自动关机功能有助于确保准确和安全的操作。机器强大的紧急停止功能有助于防止危险情况并保护操作员。为了确保成功和卓越的性能,AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200旨在满足电力和数据管理方面的所有工业标准。该机配备了可靠的温度和电压监测工具，以及用于精确性能的风冷氢冷却资产。该机还具有重型钢制机架安装、模块化结构、快速方便的设置以及充足的存储和控制机柜,可用于产品管理。综上所述，AST CIRIE-200是专业工程师和电气应用的理想蚀刻机。其卓越的运动控制和空气净化操作确保了快速、精确和可靠的性能,而其先进的安全功能有助于保持操作员和产品的安全。凭借坚固的钢结构、风冷氢冷却、温度监测等模式，这台蚀刻机将真正达到任何工业标准。
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