二手 ATIS Tiwn station #9292738 待售

ATIS Twyn Station是一种高速蚀刻/灰化仪器，设计用于材料研究实验室。它用于将平面样品和3D样品转换为细粒、均匀的基材，可用于进一步分析。ATIS Twin Station提供了与传统蚀刻/灰化仪器相比的几个明显优势，包括能够并行处理两个晶片。这大大缩短了仪器的循环时间，从而加快了样品处理的周转速度。它能够在同一晶片上同时产生蚀刻和灰化步骤,提供一个单步处理解决方桉,非常适合超高密度设备。此外,ATIS Twin Station还配备了扩展的自动化功能,可提高标准蚀刻/灰化工艺的效率和可重复性。这包括对工艺参数进行精确或重新校准、异地显微镜检查以及通过自动升空制备样品的能力。为了确保一致和统一的处理结果，ATIS Twin Station配备了真空室，可以容纳广泛的温度和压力设置。该室还采用了可调搅拌机构，具有方便的样品加载系统和内部加热线圈，用于均匀的热分布。此外，ATIS Twin Station包含了在处理过程中监测气体流量、温度、压力和腔室清洁度的先进诊断。这就产生了更准确的结果，减少了工艺暴露和更一致的技术控制。总体而言，ATIS Twin Station是一种精密的蚀刻/灰化仪器，非常适合用于研究或制造实验室。其先进的自动化和过程监控功能提供了出色的可重复性,而其双晶圆并行处理方法减少了周转时间并提高了最终产品产量。