二手 AVIZA Celsior #293821839 待售

AVIZA CELSIOR是一种先进的蚀刻/灰化机,旨在提供精确可靠的工艺结果。主要用于电子、化学和生物医药行业。该机采用低压冷凝蚀刻和高温灰化工艺相结合。这将导致进程的总变化小于0.1% wt。这样可以实现较高的可靠性和改进的工艺产量,并产生比正常情况下更高的精度结果。CELSIOR配有PFA内室，提供更高的气流稳定性和等温蚀刻条件。PFA材料也使其具有很高的耐腐蚀性。获得专利的气体控制设备使蚀刻工艺能够针对最佳的产品晶片进行优化。机器还配备了QuickStart™的自检功能，有助于减少蚀刻开始前的设置时间。还可以使用内置仪表远程监控该系统。此功能允许您查看工艺温度和条件,并允许快速识别和纠正潜在问题。它还有一个内置的自动计时器，可以重复蚀刻和灰化过程，并有助于提供可靠和可重复的结果。AVIZA CELSIOR也是完全自动化的,消除了操作错误的风险。它与最高的可用温度循环兼容，使得它甚至适用于最困难的过程。CELSIOR还提供极好的安全级别，因为它有一个内置的安全联锁机，这意味着如果一个蚀刻或ashing步骤失败，机器将自动关闭防止有毒气体泄漏和其他潜在危险。AVIZA CELSIOR是一种可靠、精确的蚀刻/灰化工具,具有卓越的工艺性能。操作简单易行，适用于广泛的蚀刻和灰化操作。CELSIOR是那些寻找可靠和精确的蚀刻和ashing机的理想选择。