二手 AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178 待售
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ID: 293647178
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2L是一种高级蚀刻器/asher,专为一系列材料的高真空处理而设计。它具有功能强大、灵活的蚀刻设备和多种工艺选项,使客户能够在一系列材料上快速可靠地生产各种复杂的功能。系统核心是功能强大的单晶片真空蚀刻器源，具有一系列受控蚀刻气体，在蚀刻工艺的选择上提供了高度的灵活性。蚀刻源蚀刻速率范围大，从3到200 nm/min，能够进行反应性离子蚀刻（RIE）、各向同性蚀刻和深各向异性蚀刻。它支持各种定义明确的蚀刻气体，允许针对目标材料量身定制蚀刻工艺。欧米茄i2L还有一个单片灰烬。这使客户能够在同一单元上完成蚀刻和灰化过程,从而提高效率和生产率。Asher具有高质量的等离子体源，能够从1000℃到600℃的过程。它还具有自动控制氧气流动的功能，使其更容易根据目标材料调整灰化过程。除了蚀刻器/asher之外，SPTS欧米茄i2L还包括一台集成了电子涡轮泵和两台粗加工泵的整合式真空机，提供了高水平的工艺稳定性和性能。这允许用户在一系列腔室大小中实现高真空工艺条件，确保最佳工艺效果。总而言之,Omega i2L是一款高级蚀刻器/asher,它提供多种工艺选项,使客户能够快速可靠地在一系列材料上生成复杂的功能。它还包括一个集成的真空工具和一系列自动化过程，提供高水平的性能和过程稳定性。它是各种关键蚀刻和灰化应用的理想选择。
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