二手 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9257180 待售
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AXCELIS/FUSION 200 MCU（Multi-Cavity UVC）是一种用于制造集成电路的超精确光刻曝光设备。该系统采用超高速氙气闪光灯和400瓦弧光灯,可快速准确地曝光。该装置具有先进的光学器件，能够实现其精度和分辨率，最大限度地提高线宽精度和减小。二色镜、冷凝透镜、滤镜都是用高度先进的材料制造，达到最高质量标准。FUSION 200 MCU曝光机具有独特的特点，是每次曝光量1毫秒的极快曝光时间，可实现超细分辨率和更好的吞吐量。它具有快速、高精度的步骤和重复操作功能,并具有自动对齐和注册功能。该工具设计了一个直观的用户界面，以方便资产的导航和操作，这使得AXCELIS 200 MCU极其人性化和符合人体工程学。界面还包括配方管理功能,可提供全面的工作流功能。该模型还利用机器人发动机将晶片和基板装载到曝光设备上，并利用硬件层精确定位和对准口罩和基板。200 MCU提供了可重复的曝光精度,利用了光束增压器、超高真空、超低粘度和低对比度调节器的最新发展。它还具有用于全芯片对齐的高分辨率胶片对齐器和较少的掩模标记。该系统还具有一个自动化的边缘珠测量单元以减少开发时间,以及一整套软件包（如CAD和批处理模式）,以提供全面的示意图、布局和曝光控制功能。AXCELIS/FUSION 200 MCU也可以与激光划线设备配合使用，进行精确蚀刻。总而言之,FUSION 200 MCU是一款极其可靠和先进的曝光机,擅长提供最高水平的精度和准确性,使制造商能够提供高质量的集成电路产品。
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