二手 AXCELIS / FUSION 300 MM #9182227 待售

AXCELIS/FUSION 300 MM 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻和灰化设备，设计用于生产用于制造先进半导体器件、MEM和3D集成的精密蚀刻和灰化金属化图样。系统由蚀刻器和灰化器两部分组成。蚀刻器配有高功率电子回旋共振（ECR）离子源和可编程的多面、内部、双向、矢量扫描、狭缝扫描静电束整形单元。这允许选择非常广泛的粒子，并根据应用的需要改变蚀刻垂直轮廓深度和均匀性。Asher配备了高功率、集成、多频、可编程的射频等离子体源,可确保整个工件均匀灰化,从而提高了先进半导体器件应用的上市时间。该机可处理FUSION 300 MM晶片，在制造过程中具有较高的吞吐量和较高的精度。它具有两个独立的气体淋浴组件（GSA），以实现最佳的气体输送。采用双面工艺，腔室最多可支持八种工艺，包括蚀刻、灰化、薄膜沉积、清洁、钝化和图样处理。它还包括一个用于监测工艺参数的集成多色扫描仪，以确保以最佳性能可靠地制造产品。AXCELIS 300 MM asher/etcher也高度可定制,使用户能够为其应用程序选择最佳工艺条件。通过其软件界面，该工具可以处理各种工艺配方。配方在资产数据库中进行管理,并使用基于自定义图形的显示进行访问或编辑。该模型还与操作员控制台集成在一起，提供了一种实时监控流程和调整参数的高效方式，以确保取得最佳效果。300 MM 蚀刻器/asher已通过CE和SEMI安全认证,是制造需要复杂蚀刻和灰烬工艺的前沿材料的强大工具。其多功能性和易用性使其成为寻求生产优质半导体元件的公司的绝佳选择。