二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293616813 待售

AXCELIS/FUSION ES3是FUSION Technologies设计制造的先进蚀刻器/asher设备。它在湿法和干法蚀刻/灰法过程中都具有先进的蚀刻/灰法能力。FUSION ES3具有独特的双室设计,允许快速轻松地更改各种蚀刻/灰烬参数。它能够以高达每小时35个晶圆的速率进行高通量处理。AXCELIS ES3采用了先进的EPICAL （e-Process Image Controlled Ashing）技术,使系统无需人工干预即可精确控制蚀刻/灰烬参数。EPICAL结合晶圆成像、参数优化和精密的过程控制单元，以确保最佳蚀刻/灰烬性能。这项技术已被证明能够提供可靠的过程执行,具有出色的可重复性,尤其是在高长宽比、高层厚度和大特征尺寸的应用中。ES3在使用环境方面也是多用途的。它可以配置各种皮带配置、真空连接和硬件设置。这台机器还配备了一个大的动态触摸屏用户界面，提供直观和轻松的用户体验。屏幕设计方便导航，使操作员能够快速方便地访问各种流程和配方。AXCELIS/FUSION ES3还提供卓越的安全性和能效。该工具配备了专门设计的E-Safe功能，可以不断监控和自动调制资产的功率输出。此功能可确保精确的蚀刻/灰分水平以及极低的过度蚀刻风险。还设置了保护措施,以防止过热,即使在高能耗过程中也能保持模型的性能。最后,FUSION ES3以其强大的过程控制功能而闻名。该设备具有独特的工艺监视器,可用于实时跟踪蚀刻/灰分工艺及其配方、计量数据和其他工艺参数。AXCELIS ES3还提供了许多数据分析、数据存储和报告选项。所有这些功能使ES3成为当今市场上最先进的蚀刻器/分类器之一。