二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293617650 待售

AXCELIS/FUSION ES3是一种用于微电子器件制造的高性能、可靠的asher/etcher。该设备具有单一的负载锁和高可靠性的晶圆处理卡带系统，以提供最高清晰度的蚀刻和灰化过程。该单元采用精密的光束线控制机，对焦点和光束对准进行精确定位，为当今最先进的设备的蚀刻和灰化控制要求提供均匀性和层级控制。FUSION ES3 蚀刻器/asher腔室是为高晶圆通量而设计的，能够一次处理多达30个晶圆。它具有快速的切换时间和对焦点和光束的精细调整，具有较高的可重复性。梁束线控制工具具有自调整特性，适用于多级蚀刻和灰化，具有凸凸轮廓控制和均匀性以及锋利的边缘控制。该资产具有蚀刻和粉刷铝硅酸盐玻璃、石英、SiC和SiG的能力，具有PLD、IPD、PECVD等标准工艺可用。该腔室有一个隔离的基板偏置，以最小化散粒噪声，减少粒子电荷积累，提高纳米控制和均匀性。该模型还包括可变腔室温度控制和弹射控制等高级功能，以确保最高质量的蚀刻图桉。AXCELIS ES3采用最新的高功率射频发电机，提供稳定的输出和高密度的电容匹配，在其蚀刻和灰化过程中实现高性能和高产。射频发生器和腔室的设计是为了防止热点和提供高均匀性，允许更快的运行和更高的产量。ES3 蚀刻器/asher是为最大产量而设计的,其可靠且经过验证的晶圆处理盒式磁带和低成本、均匀的蚀刻工艺。它的一套先进的特点，加上快速的切换时间和精确的光束控制，使得这种设备非常适合最先进的微电子设备。