二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293802351 待售

AXCELIS/FUSION ES3 蚀刻器/asher是一个集成的解决方桉,它为等离子体蚀刻、等离子体灰化和其他相关工艺提供了最先进的技术。它是FUSION射频发生器、控制过程化学的着名平台和FUSION ES3 蚀刻器/asher室的组合。AXCELIS射频发生器拥有300 MHz脉冲射频源，用于蚀刻和/或灰烬处理。它具有广泛的功率和时间控制模式，能够精确控制和统一的过程。射频发电机还配备了创新的双频控制设备，可配置在两个独立的频段控制功率。此功能可确保优化的过程均匀性,并使生成器能够快速响应过程条件中的任何变化。AXCELIS ES3 蚀刻器/asher腔室由两个加工腔室和一个集成的转移系统组合而成。蚀刻室具有时间控制过程和大气流能力，对蚀刻过程提供极好的控制。Asher腔室利用氧气气氛中的动态氧化来实现晶片上有机物的快速去除。它设计了一个扩展端口,允许将来的灵活性和可扩展性。集成传输单元由一个机器人臂和一个航天飞机组成，旨在确保高吞吐量和高生产率。ES3蚀刻器/灰化器是一种可靠且功能强大的机器,能够为蚀刻和灰分过程提供一致的结果。它具有直观的用户界面,易于使用,有助于最大限度地提高生产效率。双频控制工具可确保对过程的精确控制,并能够以低成本进行精确蚀刻和灰化。此集成解决方桉为用户提供了一个完整的蚀刻/灰化解决方桉,为他们提供了获得卓越效果所需的一切。